はじめに・動作原理
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株式会社荏原計器製作所
〒142-0061
東京都品川区小山台1-2-4
TEL.03-3714-4561
FAX.03-3710-1523
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はじめに・動作原理
はじめに・動作原理
圧力センサ ＥＳＰ－７型
圧力センサ ＥＳＰ－７型
ＥＳＰ－7 型 圧力センサは拡散型半導体を使用した高性能センサで、検出部からの信号は内部のアンプ回路で増幅され、調整期により 4 ～ 20 mA に変換して伝送されます。
■ 特徴
● 拡散型半導体センサの採用により信頼性、耐久性に優れております。
● 受圧部に SUS316Ｌ製ステンレス を使用してます。
● 50kPa 以下の微圧測定にも安定性が優れてます。
● 測定用途は エアー・水・油などのほか、広範囲に使用することが可能です。
● ＥＳＰ－7 型 センサを主体に、食品・化学・医薬品等各種用途に最適な隔膜式やサニタリー式など応用 製品を幅広く製作しております。
動作原理
動作原理
■ 動作原理
流体の圧力は、はじめにステンレスダイアフラム①で受けます。
その圧力は、内部に封入されたシリコーンオイル②を介し、圧力損失なく拡散型半導体センサに伝わります。
拡散型半導体圧力センサはシリコン基板⑥がガラス台座⑨に接合され、中央部がエッチングにより薄くダイアフラム形状になっています。
伝達された圧力によってそのダイアフラムが変形し、上部に形成されたピエゾ抵抗ゲージ⑦が変化します。
ピエゾ抵抗ゲージは低電流で駆動し、ボンディングワイヤ⑤を介し、圧力に比例した電気信号を出力します。
その電気信号は内部の回路基板のアンプ回路部分で増幅され、調整機により4 ～ 20 mA の電流出力や、 1 ～ 5V の電圧出力として調整された信号で出力します。
拡散型半導体圧力センサは温度変化による出力の変化が大きいため、当社の圧力センサは個々の特性に応じた温度補償を行っています。
